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大尺寸光罩

主要运用范围:

2.HDI、FPC等PCB行业。

1.主要运用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板体现行业;

大尺寸光罩

主要运用范围:

2.HDI、FPC等PCB行业。

1.主要运用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板体现行业;

  1. 细致信息

铬版精度(StandardSize:430mmx430mm)

精度/级别

最高精度

高精度

中精度

普通精度

最小线宽/线缝

0.75μm/0.75μm

5μm/5μm

10μm/10μm

20μm/20μm

线条精度

±0.15μm(QZ)

±0.5μm

±1.0μm

±2.0μm

总长精度

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±2.0μm

图形地位精度

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±3.0μm

套合精度

±0.5μm(QZ)

±1.0μm

±2.0μm

±3.0μm

垂直精度

±0.75μrad

±2.0μrad

±3.0μrad

±4.0μrad

铬版资料 (Photomaskblankphate)

资料

SodaLimeGlassQuartz

最大尺寸

850mm*1400mm

惯例尺寸

420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm

厚度

2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

铬膜

LowReflectanceChrome

光学密度(λ=450nm)

BetweenPlates3.0±0.3InPlate±0.3

反射率(λ=436nm)

BetweenPlates10±5%InPlate±2%

 


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