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2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等精细电子元器件行业。

1.ICBumping、IC载板、ICLeadFrame等相关行业;

主要运用范围:

中小尺寸光罩

2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等精细电子元器件行业。

1.ICBumping、IC载板、ICLeadFrame等相关行业;

主要运用范围:

中小尺寸光罩

  1. 细致信息

铬版精度(Standard Size:6inch Quartz)

精度/级别

最高精度

高精度

中精度

普通精度

最小线宽/线缝

0.75μm/0.75μm

3μm/3μm

5μm/5μm

10μm/10μm

线条精度

±0.1μm

±0.3μm

±0.5μm

±1.0μm

总长精度

±0.25μm

±0.5μm

±0.75μm

±1.0μm

图形地位精度

±0.25μm

±0.5μm

±0.75μm

±1.0μm

套合精度

±0.25μm

±0.5μm

±0.75μm

±1.0μm

垂直精度

±0.5μrad

±0.75μrad

±1.0μrad

±2.0μrad

 

铬版资料 (Photomask blank phate)

资料

Soda Lime GlassQuartz

惯例尺寸

3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

厚度

1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

6.35±0.2mm (QZ)

铬膜

Low Reflectance Chrome

光学密度 (λ=450nm)

Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

反射率 (λ=436nm)

Between Plates10±5% In Plate±2%

 


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